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Sensofar實務 線上說明會

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Sensofar實務 線上說明會


本次線上會議主要內容包括Sensofar設備常用軟件功能介紹及操作講解。研討會計劃用時一個小時。

講師:于樂陽  應用工程師


時間:6/22(二) 16:00~17:00 p.m.

  


報名方式:1.掃描二維碼-登記個人信息-完成線上會議報名

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Sensofar 3D光學輪廓儀


3D光學輪廓儀Sensofar顛覆傳統,將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融合與一身;


Sensofar測量設備可以幫助用戶取得實質性多突破,特別是在半導體、精密光學部件、數據存儲、顯示設備、膜厚和材料測試等領域。


  • 共聚焦模式:

    可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。


  • 干涉測量模式:

    a、PSI 相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。 

    b、VSI 白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。



  • 多焦面疊加:

    多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。





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電   話: 010-62553066
010-62565779(總機)

傳   真: 010-62566652

測量部:400-172-5117

測定部:400-820-5501

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